社団法人 物理探査学会
第117回(平成19年度秋季)学術講演会


MEMS加速度センサ素子を用いた3成分受振器の特性

講演要旨(和文)
市販している2種類のMEMS素子を用いて3成分受振器を試作した。これら2種類の受振器の感度は同程度であり、地震探査に用いているジオフォンの3倍程度の感度を有することが分かった。自然地震観測記録からは、MEMS素子を用いた受振器の内部ノイズレベルは100μkine程度であり、周波数帯域は1Hz以下まで伸びていることが確認された。今後は、MEMS型受振器を用いた自然地震の観測を続け、F-net記録と対比しながら、低周波数領域の特性を確認したい。また、受振器に取り付けた電子回路の見直しやMEMS素子そのものの見直しを行い、一層の高感度化を図りたい。

講演要旨(英文)
We developed two kinds of 3-C seismograms using two kinds of commercial MEMS elements. These sensitivity levels were almost same and were about 3 times as sensitive as one of a geophone used for conventional seismic survey. The internal noise level observed in natural seismic observation was about 100micro kine, and the frequency band was extended to 1Hz or less. We will check the characteristic of low frequency domain using natural earthquake. Moreover, we would like to perform the reexamination of an electronic circuit and the MEMS elements in order to attain high sensitivity.