| 講演要旨(和文) | | センサーネットワークを用いた地震探査の実施を目的としてMEMS素子開発の基礎資料とするために、MEMS型加速度センサの適用性の検討を行った。MEMSの開発は、既に我々が研究を実施している地震波干渉法と共に、センサーネットワークによる防災及び環境リスクへの対応技術として重要であると位置づけている。地震探査で使用するジオフォンと対比した結果、MEMS型加速度センサはやや感度が劣る傾向があることが認められた。また、今回使用した市販のMEMS素子の中には比較的高感度のものも認められた。MEMS素子の感度を上げるには、駆動電圧を大きくすること、エレメントを多重化すること、エレメントの可動電極を重くすることなどで実現できると考えられる。 |
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| | 講演要旨(英文) | | In order to development of MEMS element for the purpose of the seismic prospecting using a sensor network, the applicability of the MEMS type acceleration sensor was examined. As a result of comparing with geophone using for conventional seismic explorations, we obtained that the sensitivity tends to be a little inferior in a MEMS acceleration sensor. Moreover, the thing of comparatively high sensitivity was also accepted into the MEMS element of marketing used this time. In order to raise the sensitivity of a MEMS element, it will be enlarging drive voltage, multiplexing an element, making the movable electrode of an element heavy, etc. As a next stage, a MEMS type acceleration sensor will be made as an experiment, and it will be made high sensitivity. |
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