| 講演要旨(和文) | | 地震探鉱は地下把握のために用いられている最も主要な技術であり，将来においてもその位置は変わらないとされている一方で，地震探鉱の中では，分解能の向上，S/N比の向上などが，データの質に関する課題として常に取り上げられている．筆者らはこれまで，石油・天然ガス探鉱に使用するための高分解能MEMS加速度センサの開発を行ってきた．本研究では，開発項としてMEMS加速度センサのみを対象に，これまで製作したプロトタイプのMEMSをさらなる高感度化を目指し，MEMS素子の形状およびサイズの変更や電子回路の変更を行った．性能評価試験により、本研究で試作したMEMSセンサは、世界最高性能である-130dBをこえることが分かった。今度は、開発したMEMSセンサの普及に努める所存である。 |
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| | 講演要旨(英文) | | Seismic reflection survey is main technology used for underground grasp, and while the position does not change in the future, in prospecting by using seismic survey, improvement in resolution, improvement in a S/N ratio, are always taken up as a subject about the quality of data. The authors have developed the high resolution MEMS accelerometer for oil and natural gas prospecting until now. In this research, change of the form of a MEMS element and size and a change of the electronic circuit were made aiming at the further raise in the sensitivity of MEMS of a prototype for the purpose of development of a MEMS accelerometer. It turned out that the MEMS sensor made as an experiment by this research surpasses -130 dB/rootHz which is the world highest performance by the performance evaluation test carried out this time. We are going to strive for the spread of the developed MEMS sensors. |
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