| 講演要旨(和文) | | MEMS 重力センサとして，水晶を用いた片持ち梁構 造の受感素子を試作した．センサの構造として，AT カ ットの水晶を片持ち梁構造として，その上に駆動電極 と検出電極を設けた静電容量変化型センサを提案した．評価試験として、重力センサに20mgal の重力差を与えて評価試験を行った結果，0.05Hz の周波数変化が確認できており、十分な分解能で20mgal〜数mgal の重力変化の検出が可能であると考えられた． |
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| | 講演要旨(英文) | | We developed a new MEMS gravity sensor with quartz crystals for experiments. We proposed an electric capacity change type sensor on which the drive electrode and the sensing electrode were prepared by making the piece of crystal of AT cut into cantilever structure as a structure of a sensor. We estimated the accuracy of the gravity sensor at about several-mgal, as a result of evaluation tests using the new MEMS gravity sensor. |
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