| 講演要旨(和文) | | 国産技術による次世代探鉱のためのMEMS素子を試作して,駆動回路を加えて,MEMS加速度センサを試作した.また,これにA/D変換及び通信回路を付加し,評価用の300CH探鉱機を試作し,評価試験を実施した. 反射断面では深さ1,000m程度からの反射波を得ることができたが,既往断面と対比すると反射波が不鮮明であった.MEMS加速度センサの室内性能試験では,性能目標であったノイズレベル-120 に未達であった. 今回の研究結果を踏まえ,更なる開発を進め,センサ素子の低ノイズ・高感度化を達成し,現在海外2社の独占状態にある地震探査用MEMS型加速度センサ素子の市場に,国産技術によって開発された低コスト・高信頼性センサ素子の参入を目指す所存である. |
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| | 講演要旨(英文) | | We developed a new high-sensitive MEMS acceleration sensor for seismic exploration applying automotive control technology of MEMS acceleration sensor. The developed high-sensitive MEMS sensor is an electronic capacitance type using movable overhung silicon plate electrode that has gained achievements for automotive application. Using the developed MEMS acceleration sensors, we built 100 pieces of the prototype sensor that detects 3-axial direction acceleration for the seismic exploration system. The developed high-sensitive MEMS sensor is an electronic capacitance type using movable overhung silicon plate electrode that has gained-achievements for automotive application. We could receive reflected wave from the surface of base near the depth of 1,000m under the ground by use of our developed high sensitivity MEMS-type sensor and its small-sized system, by field test. |
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